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基于MEMS实现SOI压力传感器的设计研究机械与材料工程学院专业班级：机械(专研)-142014309020127学生姓名：目录1.MEMS传感器概述1.1MEMS传感器研究现状1.2MEMS压力传感器分类1.3MEMS压力传感器应用2.基于MEMS实现SOI压力...
本论文论述了MEMS压力传感器的设计过程和设计方法，在此基础上设计了一种带有“变截面”膜片结构的单电容压力传感器，并完成了工艺流程设计，版图设计和加工并对芯片进行了测试。.具体内容如下：I．介绍了MEMS产业国内外发展情况，未来发展趋势...
合肥工业大学硕士学位论文基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究姓名：朱华铭申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：许高斌201204基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究微机械加速度传感器以其体积小、易集成和功耗低等优点，在军用和民用设备上都有广…
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计研究生：颜黄苹指导教师：冯勇建副教授f氧气传感器是气体传感器的主要分支之～。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保等领域。长期以来，各种氧气传感器的研究异常活跃。
3）基于MEMS惯性传感器的微小型高精度姿态测量系统的研究、设计与实现。依据微小型、低成本、高精度、强抗干扰能力和普遍适用性等特点，结合最优旋转调制方案，设计并实现一套基于MEMS惯性传感器的微小型高精度姿态测量系统。
针对上述问题,本文提出了一种基于MEMS惯性传感器的可穿戴式跌倒检测系统,在人体发生跌倒前发出预警,并且将跌倒信息发送至监护平台。.本文的主要工作如下:(1)说明了老人跌倒伤害的发展趋势,对现有的跌倒检测系统和跌倒检测算法进行研究并分析其优劣势...
基于MEMS传感器的微小型无人机测控系统关键技术研究-仪器仪表工程专业论文.docx,基于MEMS传感器的微小型无人机测控系统关键技术研究摘要在军事和民用领域，微小型无人机发挥的作用越来越显著。飞行测控系统作为无人机系统的核心部件...
基于MEMS的地震检波器研究和设计1．4本论文研究内容和意义本论文结构安排如下：第一章，介绍了MEMS传感器国内外研究现状和发展前景，提出了本课题的研究内容和研究意义；第二章，简要说明了地震检波器的分类方式，主要介绍了常规、超级
【摘要】：基于半导体硅的压阻效应,研制了一种MEMS大量程压力传感器。为了实现大量程压力测量,采用了不锈钢材质制作了压力敏感膜片。利用有限元分析软件对传感器敏感芯体进行了结构建模仿真分析和优…
手势识别在现在社会越来越广泛用的，下面这篇文章是之前搞的一个项目，是基于三轴加速度传感器做的。个人感觉在机器视觉火热的今天，利用传感器的手势识别好像没有那么吸引人了。摘要：随着移动智能电子设备的发展，基于MEMS加速度传感器的手势识别成为一个研究热点。